靶材电源维修案例分析

靶材（Target Material）是溅射工艺中的关键材料。其作用是通过高能离子轰击，将靶材原子或分子剥离并转移到衬底表面，形成特定功能的薄膜。直流电源通过施加恒定电压，使阴极（靶材）相对于阳极（基体或系统接地）带负电，形成一个电场。氩气离子（Ar^+）在电场作用下加速，轰击靶材表面，溅射出靶材原子，沉积到基体表面。通快HUTTINGER霍廷格为众多高科技行业提供所需的工艺电源，凭借出色的精度、能效和高工艺稳定性，已成为等离子体高科技应用的市场领导者。所产电源广泛用于太阳能电池、半导体、平板显示、光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜及大面积玻璃镀膜等行业的沉积、刻蚀工艺。电源种类有:等离子体中频电源、等离子体脉冲直流电源、等离子体直流电源、等离子体射频电源。

我司有自行研发的霍廷格成套测试系统，维修后可达到现场使用同等条件，测试3x8个小时负载合格后才按流程出货。直流电源常见故障有:通电无显示、主电源欠压或过压、电源缺相、控制电源异常、过温、通讯丢失、无法启动、输出功率不够、输出电压电流不稳等。中频电源常见故障有:通电无显示、交流断开、无法启动、负载短路、振荡器模块损坏、功率模块故障、输出频率偏低或偏高、输出功率偏低或偏高、输出电流偏低或偏高、输出电压偏低或偏高、输出不平衡、输出不匹配、过温、CAN总线错误等。射频电源常见故障有:通电无显示、无法启动、过温、系统故障、通讯故障、功率模块故障、反射功率偏高、入射功率偏低、输出功率不稳定、振荡信号异常等。